基于PZT的微納混合掃描系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、本文在對(duì)AFM的成像原理和AFM原子力作用機(jī)理的研究的基礎(chǔ)上，依據(jù)AFM微納米操作系統(tǒng)的高效性和實(shí)時(shí)性要求，設(shè)計(jì)了一個(gè)基于壓電陶瓷管和步進(jìn)電機(jī)的微納混合掃描平臺(tái)的控制系統(tǒng)，本掃描控制系統(tǒng)利用PC機(jī)作為控制器來(lái)控制壓電陶瓷平臺(tái)的納米級(jí)的移動(dòng)，通過(guò)VC++軟件編程來(lái)控制平臺(tái)的微納米級(jí)移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)納米操作的實(shí)時(shí)性，高效性。然后，將本掃描控制系統(tǒng)應(yīng)用于本實(shí)驗(yàn)室自主研制的原子力顯微鏡系統(tǒng)中，對(duì)微懸臂的形變量進(jìn)行檢測(cè)，從而得到樣品表面的微觀形貌。

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