基于微石英晶振的掃描探針顯微技術(shù)的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩99頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、該文系統(tǒng)地研究了微石英晶振的多功能掃描探針顯微技術(shù).其主要研究成果如下:采用微石英晶振作為微力傳感器來取代傳統(tǒng)的微懸臂和光學(xué)檢測(cè)裝置,通過對(duì)微石英晶振的測(cè)量機(jī)理的研究,建立了微石英晶振與樣品表面作用的動(dòng)力學(xué)模型,得到了微石英晶振的振動(dòng)特性和間距的關(guān)系曲線,并對(duì)精密表面樣品進(jìn)行了檢測(cè).在壓電陶瓷掃描器前粘附鋁管以擴(kuò)大其掃描范圍,建立了壓電陶瓷掃描器的圓弧變形模型,得到了掃描范圍與陶管直徑、加長長度等的關(guān)系,從理論上分析了陶管掃描器的耦合誤

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論