三維微硅加速度計的研制.pdf

1、該文詳細討論了一種新型電容式三維微硅加速度傳感器的方案設(shè)計、工藝流水以及樣品的結(jié)果測試.論文首先對微硅加速度傳感器的發(fā)展進行了綜述,結(jié)合國內(nèi)外關(guān)于微硅加速度傳感器研究的代表性產(chǎn)品,討論微硅加速度傳感器的發(fā)展?fàn)顩r.論文其次從結(jié)構(gòu)及檢測機構(gòu)上需要介紹加速度傳感器的原理,分別對三種主要類型的加速度計:壓阻式、電容式和隧道效應(yīng)式加速度傳感器進行了橫向及縱向比較;對于目前的研究熱點--三軸加速度計,結(jié)合國內(nèi)外的設(shè)計方案,并進行比較,設(shè)計出一種新穎

2、的具有完全對稱結(jié)構(gòu)的方案,以利于提高實用性能,便于設(shè)計制作.論文詳細討論了采用固支梁結(jié)構(gòu)的三維微硅加速度傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計.論文給出了電容式三維微硅加速度計的工藝流程,對其中的重點工藝,如濃度自停止腐蝕、ICP刻蝕等進行重點介紹,對硅片的KOH腐蝕實驗進行討論,并對重點工藝--橋墩、檢測質(zhì)量塊、固支梁的濃硼擴散進行SUPREM工藝模擬.通過工藝流水,設(shè)計出三維微硅加速度傳感器的樣品,對樣品進行結(jié)構(gòu)參數(shù)的測試.對誤差進行量化分析.最后,