三維微硅加速度計(jì)的研制.pdf

1、該文詳細(xì)討論了一種新型電容式三維微硅加速度傳感器的方案設(shè)計(jì)、工藝流水以及樣品的結(jié)果測(cè)試.論文首先對(duì)微硅加速度傳感器的發(fā)展進(jìn)行了綜述,結(jié)合國內(nèi)外關(guān)于微硅加速度傳感器研究的代表性產(chǎn)品,討論微硅加速度傳感器的發(fā)展?fàn)顩r.論文其次從結(jié)構(gòu)及檢測(cè)機(jī)構(gòu)上需要介紹加速度傳感器的原理,分別對(duì)三種主要類型的加速度計(jì):壓阻式、電容式和隧道效應(yīng)式加速度傳感器進(jìn)行了橫向及縱向比較;對(duì)于目前的研究熱點(diǎn)--三軸加速度計(jì),結(jié)合國內(nèi)外的設(shè)計(jì)方案,并進(jìn)行比較,設(shè)計(jì)出一種新穎

2、的具有完全對(duì)稱結(jié)構(gòu)的方案,以利于提高實(shí)用性能,便于設(shè)計(jì)制作.論文詳細(xì)討論了采用固支梁結(jié)構(gòu)的三維微硅加速度傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計(jì).論文給出了電容式三維微硅加速度計(jì)的工藝流程,對(duì)其中的重點(diǎn)工藝,如濃度自停止腐蝕、ICP刻蝕等進(jìn)行重點(diǎn)介紹,對(duì)硅片的KOH腐蝕實(shí)驗(yàn)進(jìn)行討論,并對(duì)重點(diǎn)工藝--橋墩、檢測(cè)質(zhì)量塊、固支梁的濃硼擴(kuò)散進(jìn)行SUPREM工藝模擬.通過工藝流水,設(shè)計(jì)出三維微硅加速度傳感器的樣品,對(duì)樣品進(jìn)行結(jié)構(gòu)參數(shù)的測(cè)試.對(duì)誤差進(jìn)行量化分析.最后,