硅撓性伺服加速度計(jì)設(shè)計(jì).pdf_第1頁(yè)
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1、該文詳細(xì)論述了一種基于互感系數(shù)變化的用于慣性制導(dǎo)的精密的力平衡加速度計(jì)的設(shè)計(jì)、分析.加速度計(jì)的分辨率、靈敏度閾值和高的熱穩(wěn)定性是設(shè)計(jì)時(shí)主要考慮的參數(shù).該論文中使用推—挽式長(zhǎng)撓性結(jié)構(gòu)來(lái)保證低靈敏度閾值，同時(shí)保證抗振魯棒性.為了提高熱穩(wěn)定性，該文中討論了利用永久磁鐵作為磁場(chǎng)源;微加工技術(shù)被引入擺組件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和利用力矩線圈作為激勵(lì)線圈來(lái)簡(jiǎn)化電感式的檢測(cè)裝置.加速度計(jì)的設(shè)計(jì)量程為0～70g.該文論述的基于互感變化的硅加速度計(jì)對(duì)于填補(bǔ)國(guó)內(nèi)硅加速

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