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文檔簡介
1、為滿足微機電系統(tǒng)(MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)產業(yè)化及實驗研究對表面形貌測量工具的需求，本文對垂直掃描白光干涉技術做了深入的研究，設計開發(fā)了一套基于Linnik干涉結構的掃描白光干涉三維表面形貌測量系統(tǒng)，具有長工作距離、快速、非接觸及三維全場測量等特點，主要工作如下：
基于一種新穎的LED準直方法，設計了一套掃描白光干涉表面形貌測量系統(tǒng)。研究了光源相干長度、光學系統(tǒng)分辨率及CC
2、D分辨率。
研究了目前白光干涉測量中的主要算法，重點研究了相移算法和基于采樣定理的平方包絡函數估計(SEST，Square-envelop function Estimation by Sampling Theory)快速處理算法。提出了在SEST算法中應用循環(huán)緩沖器定位相干區(qū)域的方法，進一步減少了數據存儲量及計算量，提高了測量速度。對上述兩種算法做了仿真研究，結果表明，光源的頻譜寬度對相移算法和SEST算法的精度影響較大
3、，同等條件下相移算法精度比SEST算法高，但是由于相移算法的采用間隔小，故測量速度比較慢。
開發(fā)了一套掃描白光干涉三維表面形貌測量系統(tǒng)，可工作在相移干涉模式(PSI，Phase-Shift Interferometry)和垂直掃描干涉模式(VSI，Vertical Scanning Interferometry)下。在基于面向對象技術的VC++6.0集成開發(fā)環(huán)境下完成了系統(tǒng)軟件的設計開發(fā)，編程實現了三步相移、五步相移及SE
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