低溫制備集成電路互連高密度碳納米管的研究.pdf

1、分類號(hào)：密級(jí)：天津理工大學(xué)研究生學(xué)位論文低溫制備集成電路互連高密度碳納米管的研究(申請(qǐng)碩士學(xué)位)學(xué)科專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)研究方向：半導(dǎo)體薄膜材料與器件作者姓名：林新元指導(dǎo)教師：張楷亮教授2011年2月獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝之處外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的研究成果，也不包含為獲得墨盜墨墨太望或其他教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書(shū)而使用過(guò)的材料。與

2、我一同工作的同志對(duì)本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說(shuō)明并表示了謝意。，學(xué)位論文作者簽名：毒k‰訕簽字日期：V，／年≥月f日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書(shū)本學(xué)位論文作者完全了解墨盜墨墨盤(pán)堂有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定。特授權(quán)墨盜堡墨太堂可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，并采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編，以供查閱和借閱。同意學(xué)校向國(guó)家有關(guān)部門(mén)或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)本和電子文件。(保密的學(xué)位論文在解密后適用本授權(quán)說(shuō)