鉬柵網(wǎng)微細光刻電解加工試驗研究.pdf

1、鉬由于其熔點高，密度低，熱膨脹系數(shù)低，比強度高，優(yōu)良的導(dǎo)熱與導(dǎo)電性能，對熔融玻璃、熔鹽及熔融金屬有較高的防腐性，在電子、金屬加工及航天工業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。
　　 光刻電解加工（又稱為掩膜電解）將光刻技術(shù)與電化學(xué)加工技術(shù)相結(jié)合，能加工出微米甚至亞微米級的復(fù)雜開關(guān)，可用于精密光柵、超大規(guī)模集成電路、印刷電路等各種金屬薄壁零件和微機電系統(tǒng)(MEMS)零件的制造。由于鉬在電解過程中極易鈍化，加大了電解的難度，本文采用H2SO4/M

2、ethanol有機電解液對其進行加工，有效解決了鈍化的問題。
　　 本文針對鉬電解特性，以有機溶液作為電解液，完成以下內(nèi)容：
　　 1．根據(jù)鉬微細電解加工特點，搭建試驗平臺；
　　 2．掩蔽陰極設(shè)計及電解加工過程中的電場分析。進行鉬表面電場的有限元分析，為電解參數(shù)優(yōu)化奠定基礎(chǔ)；
　　 3．研究影響均一性的四個主要因素，并利用Taguchi方法對各個參數(shù)進行分析，獲得最優(yōu)參數(shù)；
　　 4．使用體積比