高精度形狀測(cè)量?jī)x測(cè)控系統(tǒng)硬件研究.pdf

1、高精度形狀測(cè)量?jī)x具有X向、Z向兩個(gè)運(yùn)動(dòng)軸和一個(gè)回轉(zhuǎn)主軸，采用接觸式測(cè)量，本文為X軸、Z軸和回轉(zhuǎn)土軸搭建了驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，并為X向、Z向眄己置了光柵位移測(cè)量系統(tǒng)，研究和設(shè)計(jì)了測(cè)頭傳感器的測(cè)量系統(tǒng)。
　　 為x向、Z向的驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)了包括驅(qū)動(dòng)部分、控制部分和位置反饋裝置的全閉環(huán)交流伺服驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，采用富十FALDIC-W伺服系統(tǒng)搭建了驅(qū)動(dòng)部分，設(shè)計(jì)了基于計(jì)算機(jī)控制的電機(jī)控制電路和手動(dòng)控制面板，采用直線位移光柵尺和光柵讀數(shù)卡組建光

2、柵位移測(cè)量反饋裝置，為了保護(hù)伺服系統(tǒng)和防止超程，并設(shè)計(jì)了機(jī)械行程限位保護(hù)。回轉(zhuǎn)土軸采用低速直流同步電機(jī)驅(qū)動(dòng)，并為各軸驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)了獨(dú)立的電源和操作按鈕。
　　 高精度形狀測(cè)量?jī)x主要用來(lái)測(cè)量非球面零件的面型精度，圓度及圓柱度誤差，本文為其配備了長(zhǎng)度計(jì)和LVDT傳感器兩種測(cè)頭，并對(duì)基于LVDT傳感器的測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了重點(diǎn)研究和詳細(xì)設(shè)計(jì)。為實(shí)現(xiàn)將代表鐵芯位移變化的微弱交流電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換成與鐵芯位移成比例的且滿足A/D轉(zhuǎn)換器輸入端電壓要

3、求的±10V雙極性直流電壓信號(hào)，對(duì)LVDT傳感器的信號(hào)調(diào)理電路進(jìn)行了重點(diǎn)研究和詳細(xì)設(shè)計(jì)；同時(shí)給信號(hào)調(diào)理電路中的電子器件設(shè)計(jì)了雙極性直流電源，并來(lái)用Proteus仿真軟件塒其進(jìn)行仿真，驗(yàn)證了電路正確性。為實(shí)現(xiàn)圓周測(cè)量中的等角度采樣，采用回轉(zhuǎn)土軸上的旋轉(zhuǎn)編碼器的輸出信號(hào)控制A/D轉(zhuǎn)換前的采樣／保持電路；并采用12位A/D轉(zhuǎn)換器AD574AJD設(shè)計(jì)了雙極性輸入且12位轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)并行輸出的A/D轉(zhuǎn)換電路。為實(shí)現(xiàn)PC機(jī)和外圍設(shè)備之間的通信，對(duì)ISA