考慮熱效應(yīng)的彈性梁-擠壓氣膜系統(tǒng)動力特性分析.pdf

1、微梁諧振器是微機械行業(yè)的重要組成部件，微電子封裝后微梁與基體之間存在著一層氣體薄膜。由于氣體薄膜的尺度小且不能自由膨脹和壓縮，它將隨著微梁振動，并產(chǎn)生對微梁的附加質(zhì)量和附加阻尼效應(yīng)，從而影響結(jié)構(gòu)的動力特征。當微梁高頻振動時，氣體內(nèi)部的摩擦會引起系統(tǒng)的溫度升高，這不僅加劇了氣膜對微梁動力特征的影響，而且還可能引起封裝的可靠性問題。因此，開展考慮熱效應(yīng)的彈性梁/擠壓氣膜系統(tǒng)的動力特征分析，實現(xiàn)對這類氣固耦合系統(tǒng)的參數(shù)辨識具有非常重要的理論意

2、義。論文在以下幾個方面取得成績：
　　 1.從Navier-Stokes方程和能量方程出發(fā)，建立了考慮熱耗散效應(yīng)的剛性梁/擠壓氣膜系統(tǒng)的一維氣固耦合動力學(xué)方程，攝動求解了氣膜內(nèi)的溫度增量場、壓力增量場和速度增量場等的分布規(guī)律。
　　 2.建立了考慮氣膜熱效應(yīng)的彈性梁/擠壓氣膜系統(tǒng)的二維氣固耦合動力學(xué)方程，并攝動求解了氣膜內(nèi)的溫度增量場、壓力增量場、速度增量場等。
　　 3.建立了同時考慮氣膜和梁的熱效應(yīng)的彈性梁/