CMOS光柵測量系統(tǒng)研究.pdf

1、自上世紀五十年代以來,隨著光柵刻劃技術和電子技術,以及計算機的發(fā)展,計量光柵技術成為一項專門的技術并得到迅速發(fā)展.目前計量光柵技術已經(jīng)比較成熟,光柵長度測量系統(tǒng)已經(jīng)廣泛應用到工業(yè)生產(chǎn)和國防的諸多領域.然而隨著計量測試技術的發(fā)展和實際應用要求的不斷提高,更高分辨率和更簡便易行的光電位移精密測量裝置有了新的市場需求.本文正是從這一需求出發(fā),提出了一種全新的以光譜法為基礎以CMOS為圖像接收器件的高分辨率測量系統(tǒng).光譜法測量系統(tǒng)以物理光學的基

2、本理論作為依據(jù),以CMOS作為光譜圖像接收器件,提出了一種全新的細分方法.根據(jù)某一級光譜能量在標尺光柵移動一個節(jié)距的能量的變化情況,實現(xiàn)高分辨率的細分和測量.論文同時闡述了用計算機處理圖像和完成軟件細分的測量方法.論文首先介紹了光柵測量系統(tǒng)的原理,分析了各種測量方法,描述了光電位移精密測量儀器目前的發(fā)展狀況,展望了今后的發(fā)展趨勢.重點對光譜法實現(xiàn)高分辨率測量系統(tǒng)研究的硬件組成和軟件方法的原理進行了詳細闡述.硬件部分包括光源、可調(diào)節(jié)狹縫、