Mn-Zn鐵氧體薄膜的結構及磁性.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　本論文中著重研究了一種極具發(fā)展?jié)摿Φ挠糜诟哳l的薄膜電感材料：鐵氧體薄膜材料－Mn-Zn鐵氧體薄膜。塊體材料Mn-Zn鐵氧體的電阻率高、軟磁性能好、使用頻率寬，適于作高頻軟磁材料。目前對于Mn-Zn鐵氧體薄膜材料存在的主要問題就是飽和磁化強度Ms較塊體材料低，矯頑力Hc較塊體材料高。因此在這里我們致力于解決的問題是盡量提高薄膜的飽和磁化強度Ms、降低矯頑力Hc,使其性能盡量與塊體材料接近?！?本文采用射頻濺射方法制備了Mn鐵氧體薄

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