新型一價銅前驅物的制備及其用于化學氣相沉積銅薄膜的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、浙江大學理學院碩士學位論文新型一價銅前驅物的制備及其用于化學氣相沉積銅薄膜的研究姓名：丁靚申請學位級別：碩士專業(yè)：物理化學指導教師：王琦20100301摘要薄膜以膜島(或稱為Stranski—Krastanov模式)的方式成長。由XRD和XPS譜圖可以看出所生長的銅薄膜質量較好，污染小，進一步說明所得到的化合物比較適合做化學氣相沉積源。在AFM形貌圖上發(fā)現(xiàn)，兩類前驅物制得的銅晶粒的形貌也大體相同，方向上也有一致性。不僅同一樣品上的晶粒形

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