新型一價銅前驅(qū)物的制備及其用于化學(xué)氣相沉積銅薄膜的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、浙江大學(xué)理學(xué)院碩士學(xué)位論文新型一價銅前驅(qū)物的制備及其用于化學(xué)氣相沉積銅薄膜的研究姓名：丁靚申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：物理化學(xué)指導(dǎo)教師：王琦20100301摘要薄膜以膜島(或稱為Stranski—Krastanov模式)的方式成長。由XRD和XPS譜圖可以看出所生長的銅薄膜質(zhì)量較好，污染小，進(jìn)一步說明所得到的化合物比較適合做化學(xué)氣相沉積源。在AFM形貌圖上發(fā)現(xiàn)，兩類前驅(qū)物制得的銅晶粒的形貌也大體相同，方向上也有一致性。不僅同一樣品上的晶粒形

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