非平衡磁控濺射方法替代電沉積技術的應用工藝研究與設計.pdf

1、為提高機械零部件表面耐磨、耐蝕等性能，延長零部件的使用壽命并滿足特殊環(huán)境使用要求，需在機械零部件表面通過特定的方法涂覆具有特殊性能的涂層。同時，伴隨著產(chǎn)業(yè)升級要求和環(huán)保壓力的加大，利用先進技術手段，對某些環(huán)境污染嚴重、能耗高的表面處理方法進行升級或替代研究具有重要的現(xiàn)實意義、經(jīng)濟價值和社會效益。近年來發(fā)展起來的非平衡磁控濺射技術，被認為是較有前途的表面涂層制備方法，本研究針對采用非平衡磁控濺射技術對電沉積硬鉻方法進行替代的工藝研究和設計

2、，具體包括如下三個方面：
　　 (1)文獻資料收集、分析及工藝現(xiàn)場調(diào)研：
　　 通過對資料及工藝的分析、調(diào)研，了解表面涂層制備技術發(fā)展現(xiàn)狀及各方法優(yōu)缺點，重點分析了非平衡磁控濺射技術制備硬質(zhì)涂層與電沉積硬鉻技術的原理與工藝特點。通過比較，電沉積硬鉻技術具有環(huán)境污染嚴重、能耗高及涂層性能有缺陷等不足，因此，采用新技術替代電鍍硬鉻在機械零部件中的應用勢在必行。
　　 (2)工藝實驗和分析：
　　 為了驗證非平

3、衡磁控濺射技術替代電沉積硬鉻的工藝可行性并為設備設計提供依據(jù)，本研究在充分掌握非平衡磁控濺射技術原理的基礎上，針對液壓桿件的特殊使用要求，在不同的沉積工藝下分別制備Cr、CrN涂層。通過對涂層的性能分析，驗證了方法的可行性，并確定了可用的非平衡磁控濺射工藝參數(shù)。
　　 (3)非平衡磁控濺射設備相關設計與計算：
　　 依據(jù)工藝實驗及分析結(jié)果獲得的相關技術參數(shù)，作者基于非平衡磁控濺射技術設計一套用于液壓桿件小批量生產(chǎn)的濺射裝