Fe-N薄膜的結(jié)構(gòu)與磁性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、Fe-N薄膜因其具有高飽和磁化強度、低矯頑力,有望獲得較高的微波磁導率,而在集成化微磁器件、抗電磁干擾以及新型雷達波吸收材料研究中受到廣泛和高度的重視。本文在理論分析的基礎(chǔ)上,對薄膜的動態(tài)磁導率進行了機理性解釋和總結(jié)。以Fe膜及Fe-N薄膜為具體研究對象,采用直流磁控濺射法制備了具有高飽和磁化強度的Fe-N薄膜。系統(tǒng)研究了氮氣分壓對Fe-N薄膜結(jié)構(gòu)和磁性能的影響,并對其微波磁特性作了初步的表征。
  實驗結(jié)果表明,氮氣分壓是影響鐵

2、氮化合物相形成的主要因素。隨著氮氣分壓的增加,薄膜中主要相成分的演變?nèi)缦拢篴-Fe→ a¢-Fe16N2→ g¢-FeN+g¢-Fe4N→ g¢-FeN+g¢-Fe4N+e-Fe3N→ g¢-FeN。即隨著氮氣分壓的增大,薄膜中富氮相的含量逐漸增加。
  Fe-N薄膜的飽和磁化強度與濺射時的氮分壓有很大的關(guān)系。隨著氮氣分壓的增大,F(xiàn)e-N薄膜的飽和磁化強度先增大后減小。當濺射氣體中N2含量為5%,即薄膜主要相成分為a¢-Fe16N

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