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1、用對向靶反應(yīng)濺射法成功制備出高質(zhì)量的α″-Fe<,16>N<,2>薄膜材料.系統(tǒng)研究了不同條件下制備的α″-Fe<,16>N<,2>薄膜的結(jié)構(gòu)及磁性.詳細研究了不同的基底材料以及基底溫度對薄膜結(jié)構(gòu)的影響.基底材料和基底溫度對于Fe-N薄膜的制備有重要影響.當溫度為120~150℃時,最有利于α″-Fe<,16>N<,2>薄膜的生長.而且微晶的小尺寸效應(yīng)對薄膜的宏觀磁性有重要影響.當基底溫度為50℃時,得到了晶粒尺寸為10~20nm的鐵氮
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