壓電諧振微懸臂梁結構優(yōu)化及諧振特性研究.pdf

1、。771113後旦大學學校代碼：10246學號；012021065碩士學位論文壓電諧振微懸臂梁結構優(yōu)化及諧振特性研究院系(所)專姓信息科學與工程學院業(yè)：塑皇王堂皇墅堡壘王學名指導教師王軍軍黃宜平教授完成日期：至壘魚曼笙!旦!墨旦秉麓懿擎窟搦壘立公布一壓電諧振微懸臂梁結構優(yōu)化及諧振特性研究為諧振基頻的偏移是由于微梁不平整引起的，其受到的殘余應力導致了微梁諧振基頻的改變。本論文通過測量壓電諧振微懸臂梁的彎曲，計算了微梁受到的平均殘余應力。在

2、長條形結構受應力作用而諧振基頻發(fā)生變化的經典公式中，得到了與實際實驗測得相符的諧振基頻。壓電體受直流偏置電壓影響，其諧振基頻發(fā)生偏移的理論已有報導。附l’壓電薄膜在微結構中往往是多層復雜結構，本論文修改了適合壓電單體的計算理論，將壓電體受的電荷應力效應等效到多層結構整體的諧振基頻的變化。修改后的計算理論仍然顯示直流偏置電壓對微梁的諧振基頻的影響是二階的。激光干涉實驗驗證了增加直流偏置電壓，微梁的諧振基頻隨之減小，兩者的變化關系是二階的，