微懸臂梁的激勵(lì)與動(dòng)態(tài)特性研究.pdf

1、微米尺寸結(jié)構(gòu)應(yīng)用廣泛，非常規(guī)的使用環(huán)境對(duì)其動(dòng)態(tài)特性要求比宏觀結(jié)構(gòu)高，依然采用宏觀結(jié)構(gòu)測(cè)振系統(tǒng)無(wú)法滿足對(duì)微小結(jié)構(gòu)的有效激勵(lì)與測(cè)振。針對(duì)實(shí)際測(cè)試需求，本文搭建了以壓電底座激勵(lì)和多普勒激光技術(shù)相結(jié)合的微結(jié)構(gòu)測(cè)試系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)微懸臂梁前七階固有振動(dòng)的有效激勵(lì)和模態(tài)參數(shù)的提取，探究微懸臂梁不同區(qū)段厚度變化對(duì)動(dòng)態(tài)特性的影響。論文工作如下：
　?。?）對(duì)微結(jié)構(gòu)激勵(lì)方法、振動(dòng)檢測(cè)技術(shù)及試驗(yàn)?zāi)B(tài)估計(jì)方法進(jìn)行了綜述，對(duì)基于壓電陶瓷的激勵(lì)方式與多普勒測(cè)振原

2、理進(jìn)行了詳細(xì)介紹，并完成了測(cè)振系統(tǒng)中的各部分選型和整體搭建。設(shè)計(jì)了微懸臂梁對(duì)比實(shí)驗(yàn)并選擇可行的尺寸控制方法，有限元方法計(jì)算出固有頻率受厚度尺寸的影響，仿真證明了寬度方向的尺寸微小變化對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響可以忽略。
　?。?）建立了微懸臂梁頻響函數(shù)測(cè)試誤差模型，選擇了合理頻響估計(jì)。采用快速正弦掃描激勵(lì)，完成了微懸臂梁振動(dòng)測(cè)試，由頻響函數(shù)計(jì)算出脈沖響應(yīng)，引入最小二乘復(fù)指數(shù)法進(jìn)行模態(tài)分析，建立了極點(diǎn)穩(wěn)態(tài)圖，并依據(jù)模態(tài)判斷準(zhǔn)則合理挑選出極點(diǎn)，