多產(chǎn)品多工藝路線半導(dǎo)體車間布局建模與優(yōu)化.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展與壯大，誕生了很多從事集成電路制造的專業(yè)代工企業(yè)。半導(dǎo)體制造業(yè)不同于其他傳統(tǒng)制造業(yè)，由于其先進(jìn)的工藝流程，對廠房、設(shè)施、環(huán)境都有極其嚴(yán)格的需求，其制程的復(fù)雜性、設(shè)備的昂貴性和產(chǎn)品的精密性都決定了半導(dǎo)體廠房設(shè)施規(guī)劃具有自身的特殊性，在整個半導(dǎo)體制造過程中起著極為重要的作用。
　　 廠房設(shè)施規(guī)劃問題長期以來一直是制造業(yè)中最重要和最困難的設(shè)計(jì)問題之一，因?yàn)槠湟笤谟邢薜能囬g空間中獲得最大的生產(chǎn)效益，并且還必須滿

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