（Ba,Sr）TiO-,3-薄膜和（Ba,Sr）TiO-,3--YBa-,2-Cu-,3-O-,7-δ-異質(zhì)薄膜的脈沖激光沉積制備及性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、鐵電鈦酸鍶鋇薄膜具有十分優(yōu)越的鐵電/介電性能,在可調(diào)諧微波器件、動態(tài)存儲器件,以及熱釋電探測器等方面具有很好的應(yīng)用前景.該論文首先概括介紹了Ba<,x>Sr<,1-x>TiO<,3>薄膜的研究意義、基本結(jié)構(gòu)、制備方法、各種性能特征及其表征方法,并對當(dāng)前Ba<,x>Sr<,1-x>TiO<,3>薄膜研究中的幾個重要前沿問題進(jìn)行了詳細(xì)討論.其次,利用自行研制的RHEED系統(tǒng)原位監(jiān)測Nb:SrTiO<,3>、BST、YBCO薄膜、以及BST/

2、Nb:SrTiO<,3>薄膜的外延生長特征,利用脈沖激光沉積技術(shù),在LaAlO<,3>和MgO單晶基片上制備出了高質(zhì)量的Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>單晶薄膜,在斜切LaAlO<,3>基片上制備出性能良好的Ba<,0.1>Sr<,0.9>TiO<,3>/ YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>異質(zhì)結(jié)構(gòu)薄膜,并在硅基片上制備出了BST/Pt/Ti/SiO<,2>/Si多層異質(zhì)結(jié)構(gòu);采用XRD、EDAX、AFM、TEM等現(xiàn)

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