納米多層膜中的相轉(zhuǎn)變與超硬效應(yīng).pdf

1、本文通過氣相沉積的制備方法，分別研究了AlN/VN多層膜中AlN從穩(wěn)定相六方相（h-AlN）轉(zhuǎn)變?yōu)閬喎€(wěn)立方相（c-AlN）和TiN/SiC多層膜中非晶SiC晶化為立方SiC（c-SiC）的相轉(zhuǎn)變過程，并討論了兩種不同結(jié)構(gòu)類型的納米多層膜的生長特點，界面結(jié)構(gòu)以及多層膜超硬效應(yīng)的之間的關(guān)系。研究結(jié)果如下：1．對AlN/VN納米多層膜的研究發(fā)現(xiàn)，在立方結(jié)構(gòu)VN的模板作用下，AlN在小調(diào)制周期的AlN/VN納米多層膜中以亞穩(wěn)的立方結(jié)構(gòu)與VN形

2、成外延生長。2．AlN/VN納米多層膜硬度和彈性模量呈現(xiàn)隨調(diào)制周期減小單調(diào)上升的趨勢。3．對TiN/SiC納米多層膜的研究發(fā)現(xiàn)，雖然TiN和SiC單層膜分別呈現(xiàn)納米晶和非晶結(jié)構(gòu)，而由納米晶TiN和非晶SiC組成的多層膜顯示了一種晶體生長的互促效應(yīng)。4．本文通過分別改變TiN/SiC納米多層膜中TiN和SiC層厚度的方法揭示了其產(chǎn)生超硬效應(yīng)的原因在于SiC層在厚度很小時的晶化及其與TiN層形成的共格界面結(jié)構(gòu)。5．綜合對以上兩種多層