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1、本文主要論述納米多層膜中的非晶晶化與超硬效應(yīng),納米多層膜非晶晶化是指在納米多層膜中由于某一層晶體生長(zhǎng)的模板作用使另一原為非晶相的膜層晶化,并通常伴隨著硬度的異常增高。結(jié)合這些熱點(diǎn)領(lǐng)域,本文利用磁控濺射法制備了一系列的納米多層膜,并借助X射線衍射儀、高分辨透射電鏡、微力學(xué)探針等技術(shù)研究了:(1) 室溫時(shí)原為非晶的TiB2在立方TiN的模板作用下晶化為六方TiB2,以及TiN/TiB2異構(gòu)納米多層膜的微結(jié)構(gòu)與力學(xué)性能之間的關(guān)系;(2) 高溫
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