版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPECVD)是利用微波使反應(yīng)腔(一般為石英管)中的低壓氣體發(fā)生輝光放電而產(chǎn)生低溫等離子體,利用等離子體中的高能電子和反應(yīng)原料產(chǎn)生非彈性碰撞而使原料電離或激發(fā),降低化學(xué)反應(yīng)所需的能量,從而在相對(duì)較低的溫度下實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積的過程。在文獻(xiàn)報(bào)道中,MPECVD法常用作薄膜沉積、表面改性、有機(jī)氣相合成以及超細(xì)氧化物粉末的制備等。本論文在微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備納米材料方面進(jìn)行了如下探索: 1、以微波等離
2、子體為加熱手段,在低氣壓、低氣流的情況下氣相沉積制備得到了活潑金屬鋅的納米球狀單晶顆粒,對(duì)其進(jìn)行了掃描電鏡(SEM)、高分辨透射電鏡(HRTEM)以及能譜面掃等表征以確定其成分及結(jié)構(gòu),并提出了可能的生長(zhǎng)機(jī)理。 2、在微波等離子體的加熱下,以乙醇作為稀釋氣體,在受激鋅蒸汽的作用下,首次以氣相沉積法在硅片上制備得到了無定形二氧化硅納米空心微球。 3、以鋅粉為原料在無催化劑輔助誘導(dǎo)的情況下用化學(xué)氣相沉積法(CVD)制備得到了氧
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 納米氧化鋅和硫化鋅的氣相沉積法制備及性能研究.pdf
- 氧化鋅襯底上化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯研究.pdf
- 微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)研究.pdf
- 微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備高質(zhì)量石墨烯的研究.pdf
- 微波等離子體化學(xué)氣相沉積硅薄膜的研究.pdf
- 等離子體氣相沉積法制備納米石墨烯及其性能研究.pdf
- 機(jī)械力固相化學(xué)法制備納米氧化鋅研究.pdf
- 化學(xué)浴沉積法制備透明導(dǎo)電氧化鋅薄膜.pdf
- 膜分散法制備納米氧化鋅.pdf
- 基于ECR等離子體輔助脈沖激光沉積的氧化鋅薄膜制備與氮摻雜.pdf
- 液相法制備摻鋁氧化鋅導(dǎo)電材料.pdf
- 氧化鋅納米材料的制備、表征及微波吸收性能.pdf
- PCVD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備研制.pdf
- 鋅和氧化鋅納米粉體材料的研究.pdf
- 低溫等離子體化學(xué)氣相沉積GaN薄膜.pdf
- 鋅渣氧粉低溫濕化學(xué)法制備納米氧化鋅的研究.pdf
- 納米氧化鋅材料的氣敏特性.pdf
- 氧化鋅基納米材料的制備及其氣敏性能.pdf
- PVCD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的研究.pdf
- 微波等離子體刻蝕輔助石墨烯生長(zhǎng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng).pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論