PZI薄膜的MOD工藝制備及其性能的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文系統(tǒng)地研究了采用金屬有機物熱分解法制備PZI薄膜的工藝,及該薄膜的相結(jié)構(gòu)和介電性能.從氯氧鋯發(fā)合成有機鋯鹽--庚酸氧鋯,并和乙酸鉛、丁醇鈦一起作為溶質(zhì),乙二醇乙醚為溶劑,合成了鋯鈦酸鉛先體溶液.制得的溶液均勻、穩(wěn)定、重復(fù)性好.采用旋轉(zhuǎn)甩膠的方法,通過多次成膜及退火工藝在Pt/Ti/SiO<,2>/Si基片上制備了具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的PZI薄膜.薄膜中的離子松弛極化以及漏電流對其介電常數(shù)ε和介質(zhì)損耗tgδ有很大影響.PZI薄膜的技術(shù)性能如

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