MOD法制備YBCO薄膜及工藝研究.pdf

1、YBCO高溫超導(dǎo)薄膜在軍事、醫(yī)學(xué)及電子等眾多領(lǐng)域有非常廣闊的應(yīng)用前景，目前制備這種薄膜的主要方法有磁控濺射、激光脈沖沉積等。本論文旨在采用無氟MOD法制得具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的致密YBCO薄膜。以無機(jī)鹽為初始原料研究了溶膠形成過程中的化學(xué)反應(yīng)及成膜機(jī)理，探討了LaALO<,3>基板上薄膜沉積技術(shù)等。進(jìn)一步用X射線衍射儀和掃描電鏡研究了薄膜結(jié)構(gòu)、結(jié)晶情況和表面形貌，分析了襯底對(duì)YBCO薄膜制備的影響、以及不同熱處理?xiàng)l件對(duì)薄膜結(jié)晶結(jié)構(gòu)、形貌及性能

2、的影響。研究結(jié)果如下： (1)采用釔、鋇、銅的無機(jī)鹽Y<,2>O<,3>，BaCO<,3>，CuO作出發(fā)原料，絡(luò)合劑采用聚乙烯醇縮丁醛樹脂的丙酸溶液，可以制得成膜質(zhì)量好的穩(wěn)定溶膠。 (2)為探索采用MOD方法在LaAlO<,3>(001)單晶基片上制備性能良好的YBCO超導(dǎo)薄膜的最佳熱處理?xiàng)l件，我們?cè)诜纸鉄崽幚項(xiàng)l件相同的情況下改變成相、滲氧熱處理的溫度，確定了薄膜制備的最佳熱處理工藝。 (3)XRD測(cè)試表明由溶膠