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文檔簡介
1、該文介紹了自行研制的用于檢測超精表面的掃描隧道顯微鏡（Scanning Tunneling Microscope以下簡稱STM）樣機(jī)及相關(guān)的檢測技術(shù).該樣機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,檢測方式簡單,高分辨率、三維處理圖像等特點(diǎn).該文主要研究內(nèi)容如下：研究STM用于工程上超精表面納米形貌檢測原理,并提出了通過調(diào)整偏壓和隧道間隙來實(shí)現(xiàn)不同分辨率的檢測方法以及影響分辨率的幾種因素.通過檢測超精表面微觀行貌,從微觀角度觀察到微觀形貌的結(jié)構(gòu)和缺陷特征
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