一種RFID EEPROM讀寫問題的分析與解決.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、復旦大學碩士學位論文一種RFIDEEPROM讀寫問題的分析與解決姓名：王光振申請學位級別：碩士專業(yè)：集成電路工程指導教師：湯庭鰲；劉江華20090321AbstractThisthesisintroducesamethodtoanalysesandtosolveakindofEEPROMfailureThroughmeasure／compare，analysis，experimentandverification，Igetagreatd

2、ealofdatatoshowthereasonwhytheyieldofwafersortingislowandfindoutthebasiccausewhichmaketheEEPROMfailureinchessmodecheckTheoveretchingofpoly1resultsingateoxidedamagewhichmakestheselecttransistorofEEPROMhavealeakageTheleaka

3、gemakestheselecttransistorkeepsin“open”andlosesitsfunctionSoifthebiteell109iciS‘‘1999thecelliS‘‘open’’andthebitlinewillhaveasignificantleakagewhichresultsintheotherbitsinthesamebit1ineareall“1’whentheyareselectedforbeing

4、readInthiscasetheEEPROMfailureinchessmodeishappenedeasilyT11roughmodifyingthechipdesigntoincreasethereferencecurrentofEEPROM，adjustingtheetchprocesstoincreasethepolylCDandaddingtheIUlPforgateoxideafterpolylplasmaetchingt

5、odispelthedamageWehavesolvedtheEEPROMcheckerboardfailureTheprocessValidityhasbeenverifiedonengineeringwaferThebetterprocessconditioniSfixedThe1950’SyieldhasbeenraisedgreatlyInthisthesisIfindalsoamethodtolocaterapidlytheE

6、EPROMfailureinchessmodecheckAtthesametime，thedesignoftheembeddedEEPROMIPbecomesperfectandtheetchprocessiSoptimizedThesolutionofEEPROMbenefitstheseriesproductsItiSveryimportanceandvaluabletomaketheproductscostdown，toshort

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