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1、隨著半導(dǎo)體工業(yè)的圖形化工藝進(jìn)入100納米以下的范疇,分辨率增強(qiáng)技術(shù)(RET),如光學(xué)臨近修正(OPC),已成為補(bǔ)償物理設(shè)計(jì)者的設(shè)計(jì)圖形與光刻工程師光刻出的圖形間的失真的標(biāo)準(zhǔn)手段。普遍認(rèn)為服務(wù)于制造的設(shè)計(jì)(DFM)是光刻線條修正及光學(xué)臨近修正領(lǐng)域的關(guān)鍵詞之一,它減少了設(shè)計(jì)和制造之間的復(fù)雜交互。DFM強(qiáng)有力地進(jìn)入到硅芯片制造流程中的不同階段,通常在生產(chǎn)周期中的不同時(shí)間點(diǎn),以及工藝設(shè)備和測(cè)量?jī)x器中。
本論文中,提出了OPCRET
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