高真空閥流量特性實驗臺的研究.pdf

1、作為高真空系統(tǒng)的重要組成元件,高真空閥對高真空系統(tǒng)性能有著重要的影響?，F(xiàn)代生產(chǎn)日益大型化和快速化。通常情況下,希望高真空閥有較大的流通能力。高真空閥的流量特性主要由其流導(dǎo)值來表示并且高真空閥的流導(dǎo)值大多是理論推導(dǎo)數(shù)值,而不是實際測量得出。本文目的為設(shè)計高真空閥流量特性實驗臺,能夠測量出高真空閥在空氣流和分子流時的流導(dǎo)值。
　　本文綜合考慮真空系統(tǒng)流量特性三種測量方法的優(yōu)缺點及成本等因素,選擇定容法作為高真空閥流量特性測量的方法。根

2、據(jù)氣體狀態(tài)判別公式,計算出高真空閥內(nèi)氣體處于空氣流和分子流時的壓力范圍。依據(jù)真空技術(shù)基本方程和選擇常用的真空容器與真空泵組合,通過計算和仿真,選擇進行空氣流和分子流測量時實驗臺所選用的真空容器容積和真空泵抽速。確定實驗方案和步驟,并且選取實驗臺所需要的真空元件。
　　計算出真空容器的容積后,為使真空容器受力盡可能小,利用容器容積與面積的關(guān)系,考慮合適長徑比,分析計算出容器的直徑與長度。根據(jù)設(shè)計手冊進行真空容器的壁厚和封頭結(jié)構(gòu)設(shè)計,

3、并選擇實驗臺的金屬材料、密封材料等其他設(shè)計。利用有限元分析軟件對設(shè)計出的真空容器和管道進行應(yīng)力分析和強度校核設(shè)計,提高材料利用率。
　　設(shè)計實驗臺的壓力、溫度測量系統(tǒng)并且該測量系統(tǒng)能夠發(fā)出信號控制插板閥的開啟。高真空閥流量特性的計算需要知道實驗臺中的壓力變化情況。溫度測量是為了了解實驗臺內(nèi)溫度的變化。測量系統(tǒng)在插板閥打開的同時,發(fā)出信號數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)開始對實驗臺中的壓力和溫度進行數(shù)據(jù)采集。
　　根據(jù)設(shè)計出的實驗臺方案及確定的方