混合遺傳算法的Metropolis蒙特卡羅濕法腐蝕工藝模型研究.pdf

1、本文提出基于遺傳算法和Metropolis蒙特卡羅方法的濕法刻蝕混合工藝模型。該模型能夠根據(jù)有限個晶面刻蝕速率的實驗數(shù)據(jù)自動計算出不同工藝條件下蒙特卡羅法中腐蝕概率函數(shù)的能量參數(shù)，使任意晶面{h k l}的刻蝕速率與實驗值一致。提出一種新型表面原子移除概率函數(shù)，計算結(jié)果表明新概率模型能夠適用于任意濃度及溫度的KOH和TMAH系統(tǒng)，與現(xiàn)有模型相比，具有適用范圍廣，精度高等優(yōu)點。結(jié)構(gòu)仿真測試進一步證明了新工藝模型能夠正確模擬不同的工藝過程和

2、表面形貌?；緝?nèi)容如下：
　　首先，建立Metropolis蒙特卡羅仿真模型，通過腐蝕概率函數(shù)將表面原子的移除概率轉(zhuǎn)換成各向異性刻蝕速率。將本文研究的搜索腐蝕概率最優(yōu)解集的問題轉(zhuǎn)化為一個多目標優(yōu)化問題，以晶面(221)，(133)，(211)，(411)，(310)，(100)，(100)和(111)的刻蝕速率作為優(yōu)化目標，建立混合遺傳算法的Metropolis蒙特卡羅工藝模型，能夠根據(jù)晶面宏觀刻蝕速率優(yōu)化計算出腐蝕概率函數(shù)中的能

3、量參數(shù)。
　　其次，介紹現(xiàn)有的兩種腐蝕概率模型，鍵能削弱模型和RPF函數(shù)模型，在不同刻蝕條件下對兩種模型的能量參數(shù)進行優(yōu)化，計算結(jié)果與實驗數(shù)據(jù)的對比表明兩種概率模型具有等價性和局限性，在中等濃度的KOH或低濃度的KOH+IPA中能夠正確計算大多數(shù)晶面的各向異性刻蝕速率，但在其它刻蝕條件下，兩種模型的計算結(jié)果與理想值間的誤差很大，無法正確描述刻蝕速率的各向異性特征。
　　針對現(xiàn)有概率模型的局限性，提出一種新的腐蝕概率模型--改