基于蒙特卡羅的各向異性濕法腐蝕模擬研究.pdf

1、研究了Metropolis Monte Carlo方法在硅微加工各向異性濕法腐蝕仿真中的應(yīng)用。針對硅微濕法加工所涉及的關(guān)鍵技術(shù)和實現(xiàn)方法進行了分析。并在此基礎(chǔ)上開發(fā)了三維腐蝕加工仿真系統(tǒng)。 首先，基于Monte Carlo方法，在臺階流動(step flow)模型上引入了腐蝕概率方程，以一級鄰居原子和二級鄰居原子數(shù)量判斷原子類型，確定蒙特卡羅轉(zhuǎn)移概率。編制程序的模擬結(jié)果在不同晶向以及掩模作用下，能與實驗結(jié)果一致，解釋了蒙特卡羅法

2、處理復(fù)雜晶面的原理和應(yīng)用過程。 對比分析了其它基于原子模型的仿真方法，以凸角補償工程實例測試了模型的效率和結(jié)果精度，闡述了Metropolis Monte Carlo方法的優(yōu)勢和應(yīng)用特點。更進一步，系統(tǒng)實現(xiàn)了模擬研究腐蝕中出現(xiàn)的(100)面金字塔凸起、(110)面鋸齒狀條紋以及(111)面三角形凹陷等微觀表面形態(tài)，并支持微加工中表面粗糙度的計算。 開發(fā)的系統(tǒng)具備描述氧化硅以及氮化硅掩模作用下的各項異性腐蝕過程的能力，實現(xiàn)