CCD顯微檢測系統(tǒng)誤差分析及補償.pdf

1、本論文在精密零件顯微檢測系統(tǒng)研究的基礎(chǔ)上，詳細(xì)闡述了CCD顯微測量系統(tǒng)中關(guān)鍵技術(shù)研究。一是CCD檢測系統(tǒng)的誤差引起因素。一是不同視場測量的誤差補償問題。一是照明系統(tǒng)的研究問題。
　　CCD檢測系統(tǒng)要解決以下幾個關(guān)鍵問題：圖像畸變的校正，合適的光源建立的問題，誤差分析問題。這幾個問題的解決對CCD檢測系統(tǒng)的質(zhì)量具有重要意義。
　　針對CCD檢測系統(tǒng)的誤差引起因素問題，討論和分析了CCD檢測系統(tǒng)的誤差因素，并對CCD安裝不準(zhǔn)的因

2、素進行了具體的分析，建立了數(shù)學(xué)模型，估計了此因素引起的相對誤差，得出了像面的微小的偏轉(zhuǎn)帶來的誤差是可以忽略的，不必進行補償?shù)慕Y(jié)論。
　　針對不同視場測量的誤差補償問題做了深入的研究。分析了引起這種誤差的可能因素，并提出需進行圖像校正。說明了圖像校正的原理，提出了一種基于直線的圖像校正方案，并在VC++6.0上實現(xiàn)了校正算法。通過實驗證明，本系統(tǒng)在原系統(tǒng)基礎(chǔ)上普通微小尺寸在視場的不同位置測量重復(fù)精度提高到±0.2μm，有效的進行了誤