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1、以掃描隧道顯微鏡(STM)和原子力顯微鏡(AFM)為代表的掃描探針顯微鏡作為一類新型表面分析與納米加工工具在物理、化學(xué)、生物、材料領(lǐng)域的應(yīng)用越來越受到人們的重視.該論文首先詳細地討論了SPM硬件控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及其工作原理,完成了前置放大器電路、模數(shù)學(xué)轉(zhuǎn)換器電路、數(shù)模轉(zhuǎn)換器電路、邏輯控制電路、步進電機及繼電器控制電路的設(shè)計、制作及調(diào)試,對數(shù)字信號處理器(DSP)技術(shù)在SPM中的應(yīng)用進行了探討.然后詳細地討論基于Windows9x基礎(chǔ)上的S
2、PM多線程軟件控制系統(tǒng)的組織體系結(jié)構(gòu),并用Microsoft Visual C++6.0編寫并調(diào)試了SPM圖像生成與存儲程序、SPM掃描參數(shù)設(shè)置程序、SPM納米參數(shù)設(shè)置及加工程序、AFM光斑位置監(jiān)視程序、掃描探針進針程序以及掃描控制程序等.同時利用上述SPM計算機控制軟硬件系統(tǒng)成功地進行了原子成像和大范圍的掃描成像,探討了STM隧道針尖的制作及SPM標(biāo)定方法,實驗觀測了針尖長度、探針掃描方向等對掃描圖像的影響,此外還探討了SPM圖像的離
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