STM IPC-205B型機的性能研究及其應用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、STM作為一種新型的儀器,它本身至今仍是一個值得探究的課題.本文所涉及的研究內容得到國家"985工程"重點學科建設項目的資助,主要進行了以下幾方面的工作:①分析了國內外STM的發(fā)展現狀、STM的特點、局限性及其主要應用領域.介紹了STM的工作原理,對電子隧道效應現象和隧道電流作了介紹.②對STM IPC-205B型機關鍵技術進行了探討,主要包括:大范圍快速掃描的微位移傳動系統(tǒng)的設計;對實現STM理論精度有重大影響的振動源的物理機理以及防

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