微振動(dòng)對(duì)超精密磨削光學(xué)非球面的成型精度影響研究.pdf

1、本文在系統(tǒng)總結(jié)分析國(guó)內(nèi)外非球面超精密磨削加工技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，系統(tǒng)研究了非球面超精密數(shù)控磨床的砂輪軸和磨床主軸的微振動(dòng)對(duì)非球面磨削加工的面形精度的影響。利用Solidworks軟件建立了砂輪軸及支座、磨床主軸的三維模型，用ANSYS軟件進(jìn)行了砂輪軸、砂輪支座、磨床主軸固有頻率的仿真分析，建立了砂輪軸和磨床主軸的徑向微振動(dòng)和軸向微振動(dòng)對(duì)磨削非球面面形精度影響的數(shù)學(xué)模型，分析了砂輪軸和磨床主軸徑向和軸向微振動(dòng)對(duì)加工精度的影響。所設(shè)計(jì)的高

2、精度激光非接觸砂輪軸和磨床主軸微振動(dòng)測(cè)量裝置的測(cè)量精度達(dá)到0.02μm，系統(tǒng)研究了改變砂輪軸和磨床主軸的轉(zhuǎn)速、砂輪軸靜壓軸承和磨床主軸靜壓軸承的油壓對(duì)砂輪軸和磨床主軸的徑向微振動(dòng)和軸向微振動(dòng)的影響，發(fā)現(xiàn)隨著砂輪軸和磨床主軸轉(zhuǎn)速增加，砂輪軸徑向和軸向振動(dòng)、磨床主軸的徑向振動(dòng)減少。得出了使砂輪軸綜合微振動(dòng)量最小時(shí)的砂輪軸的轉(zhuǎn)速和油壓，以及使磨床主軸微振動(dòng)量最小時(shí)的磨床主軸的轉(zhuǎn)速和油壓，并在此種條件下加工了一塊面型精度小于4μm的中型非球面，