間接加熱式MEMS微波功率傳感器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文介紹的是間接加熱式微波功率傳感器。首先設(shè)計(jì)了間接加熱式微波功率傳感器的結(jié)構(gòu)。在此過程中，研究了間接加熱式微波功率傳感器的基本工作原理，確定了傳感器性能參數(shù)與具體幾何尺寸的關(guān)系，設(shè)計(jì)和進(jìn)一步優(yōu)化了此傳感器；根據(jù)對(duì)傳感器熱量傳遞的分析，對(duì)傳感器結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)；利用有限元分析軟件Coventorware和ANSYS對(duì)所設(shè)計(jì)的傳感器進(jìn)行了熱模擬分析，并將其模擬結(jié)果與已有的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)比較，從而為此傳感器的進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)計(jì)和模擬分析及驗(yàn)證提供了一個(gè)

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