MEMS壓阻式加速度傳感器的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩62頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、論文簡(jiǎn)述了微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的發(fā)展概況，并對(duì)MEMS壓阻式加速度傳感器進(jìn)行了研究。詳細(xì)介紹了壓阻式加速度傳感器的工作原理和結(jié)構(gòu)特性，具體討論了器件的設(shè)計(jì)、工藝、封裝和測(cè)試。 傳感器設(shè)計(jì)采用超穩(wěn)的四梁對(duì)稱結(jié)構(gòu)，有效的減少了由于結(jié)構(gòu)不對(duì)稱和壓阻的位置偏差帶來的誤差。此外，該傳感器采用了“三明治”結(jié)構(gòu)，在結(jié)構(gòu)的上下蓋帽中設(shè)計(jì)了限位擋塊，解決了傳感器抗高過載的難題。并利用有限元分析軟件對(duì)我們所設(shè)計(jì)的加速度傳感器微結(jié)構(gòu)進(jìn)行模擬

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論