基于NiFeCo-Cu多層膜巨磁電阻(GMR)的磁微球檢測(cè).pdf

1、結(jié)合磁微球標(biāo)記法，巨磁電阻（GMR）傳感器可以用于生物檢測(cè)技術(shù)中。針對(duì)生物檢測(cè)技術(shù)中以檢測(cè)磁微球濃度或面密度為手段，應(yīng)用于疾病診斷等領(lǐng)域的需求，本論文選擇NiFeCo/Cu多層膜作為研究對(duì)象。首先對(duì)巨磁電阻（GMR）效應(yīng)進(jìn)行了論述，其中包括GMR效應(yīng)的定義、理論解釋和模型、以及各種GMR結(jié)構(gòu)等重要內(nèi)容。其次，采用磁控濺射法制備了NiFeCo/Cu多層膜，研究了緩沖層厚度、非磁層厚度、鐵磁層厚度等結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)NiFeCo/Cu多層膜GMR效

2、應(yīng)的影響。通過(guò)優(yōu)化各結(jié)構(gòu)參數(shù)，得到了飽和場(chǎng)低、磁滯小的NiFeCo/Cu多層膜樣品。對(duì)應(yīng)用于生物檢測(cè)技術(shù)的GMR器件的工作原理作了詳細(xì)分析，并計(jì)算了單個(gè)磁微球的偶極場(chǎng)及其產(chǎn)生的器件信號(hào)表達(dá)式?；趦?yōu)化參數(shù)的NiFeCo/Cu多層膜，采用微細(xì)加工技術(shù)制備了GMR傳感器件。對(duì)所制備的NiFeCo/Cu多層膜GMR器件，進(jìn)行了實(shí)際的測(cè)試。得出了實(shí)驗(yàn)制備的NiFeCo/Cu 多層膜適用于生物檢測(cè)技術(shù)，且基于此多層膜制備的GMR器件可以檢測(cè)出磁微