納米級(jí)五維調(diào)整架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì).pdf_第1頁(yè)
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1、在利用干涉儀對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行高精度面形檢測(cè)時(shí)，需要對(duì)標(biāo)準(zhǔn)具進(jìn)行多維調(diào)整，現(xiàn)有的調(diào)整架多為手動(dòng)調(diào)整，效率比較低，并且分辨力低。針對(duì)這一問(wèn)題，本文設(shè)計(jì)出一款高分辨力、穩(wěn)定性好的電動(dòng)五維調(diào)整架。文章中對(duì)調(diào)整架的功能進(jìn)行了詳細(xì)分析，通過(guò)對(duì)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、微調(diào)結(jié)構(gòu)等其他子系統(tǒng)進(jìn)行計(jì)算與選型，初步確定了調(diào)整架的設(shè)計(jì)方案。論文中應(yīng)用有限元分析軟件ANSYS對(duì)利用CATIA建立的三維模型進(jìn)行了仿真分析，針對(duì)一些關(guān)鍵受力結(jié)構(gòu)進(jìn)行靜力學(xué)分析及優(yōu)化。另外對(duì)調(diào)整架的模

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