2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、隨著集成電路的發(fā)展,與低介電系數(shù)介質(zhì)相結(jié)合的銅互連技術(shù)逐步代替鋁互連。然而銅有易氧化、易擴(kuò)散的缺點(diǎn),很容易擴(kuò)散入介質(zhì)影響晶體管效能。這就要求有一種材料能把銅保護(hù)起來(lái),和介質(zhì)分隔開(kāi),同時(shí)這種材料還要具有良好的粘附性能。與常用阻擋層氮化鈦相比,氮化鉭作為銅的阻擋層其阻擋性更加可靠。本文以銅互連技術(shù)的阻擋層為題展開(kāi)研究,探討了銅互連的關(guān)鍵流程阻擋層的物理氣相沉積,通過(guò)一系列工藝實(shí)驗(yàn),以及電性和良率測(cè)試分析,提出了能夠改善氮化鉭阻擋層淀積,從而

2、降低產(chǎn)品缺陷密度和提高產(chǎn)品良率的理想工藝參數(shù)。通過(guò)對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析和比較,發(fā)現(xiàn)在預(yù)除氣工藝條件達(dá)到350oc并持續(xù)3分鐘以上時(shí),能最有效的去除水氣和前道刻蝕工序的殘留物。氬氣濺射預(yù)清除工藝對(duì)銅有損害并會(huì)造成銅漂移至側(cè)壁阻擋層下,因此時(shí)間不宜太長(zhǎng);相比氬氣濺射,反應(yīng)濺射對(duì)通孔的不良影響較小,不會(huì)造成通孔上寬下窄的情況,但如果之前hard Mask 沒(méi)通過(guò)刻蝕工藝被打開(kāi),可能有很?chē)?yán)重的缺陷;有冷卻步驟的反應(yīng)濺射預(yù)清除工藝對(duì)化學(xué)氣相淀積低K介電

3、材料的兼容性很好,但非化學(xué)氣相淀積沉積的低K介電材料會(huì)在反應(yīng)濺射預(yù)清除工藝過(guò)程中造成損害。在阻擋層沉積的工藝過(guò)程中,SIP (Self-ionized Plasma)工藝的阻擋層沉積腔擁有比IMP工藝的阻擋層沉積腔更優(yōu)越的階梯覆蓋性。在一系列的實(shí)驗(yàn)中,靶材直流電壓的功率范圍、氮?dú)饬髁考胺礊R時(shí)間等都得到了優(yōu)化,找到了最佳值。10nm TaN / 15nm Ta at 100W的納米薄膜阻擋層性能較好。同時(shí),實(shí)驗(yàn)中反映出的問(wèn)題如銅的自退火等

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