

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、主要研究了Ku 波段微波功率器件內匹配技術,解決了Ku 波段GaAs 微波大功率器件實現(xiàn)的技術途徑,成功研制出內匹配型Ku 波段(14.0~14.5GHz)15W 大功率器件。 一個內匹配型GaAs功率器件由管芯、管殼和輸入、輸出內匹配電路組成,即將有源管芯與無源微波匹配元件封裝在標準化的管殼內,在一定的微波頻段內實現(xiàn)功率放大。 首先,在管芯的工藝設計過程中,利用挖槽控制溝道厚度,并采用了坡度槽、柵偏源結構,有效改善了器
2、件擊穿電壓。在器件鈍化工藝中,研究了通過調整He/N2 比例,控制H含量,有效地降低了SiN 膜應力。通過大量合金條件的實驗,確定了歐姆接觸的優(yōu)化工藝,研制出了總柵寬為19.2mm 、柵長為0.35 um 的GaAs 功率HFET。然后對HFET 管芯進行阻抗匹配,使用鍵合引線電感和高介陶瓷電容等匹配元件構成LC 匹配電路,對管芯端口阻抗進行變換,再通過λ/4阻抗變換線匹配至50Ω,兩管芯用功分器進行功率合成,并利用ADS 軟件,對匹配
3、電路進行優(yōu)化,依據(jù)得到的元件參數(shù)值,制備匹配元件。管芯和匹配元件需封裝在管殼內,因此對管殼進行了電學和熱學分析,設計了三級臺階的新結構,滿足了Ku 波段高頻平面?zhèn)鬏數(shù)囊?。并對測試系統(tǒng)進行了改進,設計制作的測試盒具有較小的損耗,且平坦度較好。最后,通過燒結、鍵合把管芯和匹配元件裝配在管殼內,調整匹配電路,使管芯發(fā)揮出更好的性能。經(jīng)調試后,兩個19.2mm 柵寬管芯功率合成的器件,飽和漏電流Idss=300 mA/mm,跨導Gm=390m
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 微波大功率器件匹配及測試.pdf
- 基于驅動時序及內匹配的大功率器件并聯(lián)技術.pdf
- 大功率器件的散熱系統(tǒng)設計與研究.pdf
- 內匹配型Ku波段GaAs微波功率場效應晶體管.pdf
- X波段大功率磁控管優(yōu)化設計.pdf
- ku頻段高效大功率合成放大器設計
- 大功率射頻LDMOS器件設計優(yōu)化與建模.pdf
- 高壓MOS大功率器件研究.pdf
- S波段硅微波大功率晶體管內匹配技術的研究.pdf
- Ku頻段高效大功率合成放大器設計.pdf
- L波段大功率有源相控陣雷達T-R組件的設計與實現(xiàn).pdf
- 大功率IGBT器件的結構設計優(yōu)化.pdf
- Ka波段大功率放大器的設計.pdf
- 大功率器件用氮化鎢各向異性刻蝕工藝設計與實現(xiàn).pdf
- 大功率微波多工器的設計與實現(xiàn).pdf
- 大功率直流調速系統(tǒng)的設計與實現(xiàn).pdf
- Ku頻段內匹配微波功率場效應晶體管設計與實現(xiàn).pdf
- 大功率變流器通用控制平臺的設計與實現(xiàn).pdf
- L波段大功率固態(tài)放大器組件設計.pdf
- W波段大功率脈沖行波管研究.pdf
評論
0/150
提交評論