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1、微電子封裝技術(shù)的迅猛發(fā)展,帶動(dòng)了封裝設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展,作為封裝工藝中的關(guān)鍵設(shè)備,膠液分配系統(tǒng)也得到了迅速發(fā)展。膠液噴射分配技術(shù)因其突出的優(yōu)點(diǎn)而受到重視以及得到越來越廣泛的應(yīng)用。稀土超磁致伸縮材料是一種新型的功能材料,磁致伸縮應(yīng)變大、響應(yīng)速度快、能量密度高等是該類材料的顯著特點(diǎn),因其優(yōu)異的性能、良好的應(yīng)用前景,而得到世界各國(guó)學(xué)者的關(guān)注。但是目前為止國(guó)內(nèi)外并無把超磁致伸縮材料應(yīng)用與微電子膠液噴射系統(tǒng)的研究,此次研究對(duì)超磁致驅(qū)動(dòng)應(yīng)用于膠液噴射
2、器方面做了初步探索。
本文對(duì)膠液噴射器在不同噴針行程和加速度參數(shù)下進(jìn)行了數(shù)值仿真,并對(duì)仿真結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比,分析了小行程,大的加速度噴射的優(yōu)越性。然后本文對(duì)小行程大的加速度下,膠液噴射分配器的其它參數(shù)進(jìn)行了仿真比較,對(duì)比了不同參數(shù)對(duì)膠液噴射的影響。由于超磁致伸縮驅(qū)動(dòng)能同時(shí)滿足小的噴針行程和大的加速度的特點(diǎn),本文構(gòu)思了一種基于超磁致伸縮驅(qū)動(dòng)的膠液噴射分配器。本文對(duì)超磁致伸縮驅(qū)動(dòng)膠液噴射分配器的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、位移放大機(jī)構(gòu)和噴射器進(jìn)行了設(shè)
3、計(jì)計(jì)算。本文還用有限元方法對(duì)激勵(lì)磁場(chǎng)和偏置做了數(shù)值仿真,得出了超磁致伸縮棒的激勵(lì)磁場(chǎng)強(qiáng)度和偏置磁場(chǎng)強(qiáng)度分布情況,確定了線圈輸入電流的大小。
本文通過研究得出以下結(jié)論:較小膠液噴射分配器的噴針行程和較大噴針加速度,可以實(shí)現(xiàn)更高的膠液噴射精度以及實(shí)現(xiàn)更大粘度的膠液噴射;超磁致伸縮驅(qū)動(dòng)線圈選定為1000匝,電流為2A,從而可以實(shí)現(xiàn)在超磁致伸縮棒內(nèi)20KA/m的磁場(chǎng)強(qiáng)度;為了避免超磁致伸縮棒的倍頻現(xiàn)象,應(yīng)設(shè)計(jì)偏置線圈,偏置線圈設(shè)計(jì)也為
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