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1、本文提出一種適用于測(cè)量薄片材料復(fù)介電常數(shù)的改進(jìn)TE<,01p>諧振腔法.此方法將待測(cè)樣品從短路活塞處抬高,即在待測(cè)薄片樣品下面墊上已知復(fù)介電常數(shù)材料,以提高測(cè)量系統(tǒng)的靈敏度;如有必要也可以在待測(cè)薄片樣品的上面壓上一塊已知復(fù)介電常數(shù)材料,提高樣品材料的平整度,以減少空氣隙帶來(lái)的誤差.文章推導(dǎo)了TE<,01p>腔測(cè)量多層介質(zhì)的理論計(jì)算公式,只要知道墊片和壓塊介質(zhì)材料的復(fù)介電常數(shù),通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量和軟件計(jì)算,就可以求得中間待測(cè)薄片的復(fù)介電常數(shù).運(yùn)
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