納米氮化鋯涂層腐蝕因素研究.pdf

1、ZrN比TiN具有更好的耐磨性、抗腐蝕性，更優(yōu)的力學(xué)性質(zhì)，良好的化學(xué)和熱學(xué)性能以及漂亮的金黃色和較高的硬度和熔點(diǎn)，已經(jīng)在表面防腐、表面裝飾以及各種工模具的表面強(qiáng)化及提高材料性能等方面得到了廣泛的應(yīng)用。但關(guān)于涂層制備參量的防腐蝕因素研究相對(duì)較少，此問題的解決無疑是推進(jìn)這一涂層向應(yīng)用領(lǐng)域推廣的重要因素。 本文利用極化曲線和腐蝕電位測(cè)量技術(shù)，研究了工作氣壓、氮?dú)饬髁俊⒒w偏壓和沉積溫度對(duì)涂層防腐性能的影響，并根據(jù)裝飾鍍層的要求，用正交

2、實(shí)驗(yàn)法找出了防腐性能最佳的制備參數(shù)。研究得到：涂層的防腐性能因制備參量對(duì)涂層缺陷、孔隙密度和膜基附著力產(chǎn)生作用而受到影響，單參量因素實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)它們的值分別為0.3 Pa、5 sccm、-100V和300℃時(shí)，涂層防腐性能最好；正交實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)，制備參數(shù)分別為0.2 Pa、12 sccm、-100 V和300℃時(shí)，涂層防腐性能最佳?；谘b飾鍍層考慮，用單參量因素實(shí)驗(yàn)研究了制備參量對(duì)涂層的沉積速率和顏色的影響，發(fā)現(xiàn)制備參量對(duì)沉積離子的濃度、種類