復(fù)雜制造系統(tǒng)設(shè)備維護(hù)調(diào)度的研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代工業(yè)和信息科技的迅猛發(fā)展，復(fù)雜制造系統(tǒng)的規(guī)模逐漸擴(kuò)大，整個系統(tǒng)的自動化水平不斷得到提高。特別是近幾十年，提出了許多具有數(shù)字化、信息化、智能化等特征的制造系統(tǒng)，如敏捷制造系統(tǒng)、智能制造系統(tǒng)和規(guī)模制造系統(tǒng)等。日益復(fù)雜化和自動化的制造系統(tǒng)，對生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性和利用率等方面提出了比較高的要求。如何制定合理的設(shè)備維護(hù)方案，利用可用的維護(hù)資源準(zhǔn)確快速的對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，降低設(shè)備故障和成品率損失，提高制造企業(yè)的競爭力及可創(chuàng)造的市場價值，是近

2、年來學(xué)術(shù)界和工程界研究的一個重大課題。本文針對復(fù)雜制造系統(tǒng)的典型代表-半導(dǎo)體制造過程的設(shè)備維護(hù)調(diào)度問題，從維護(hù)建模、維護(hù)策略等方面開展研究，探索合理的設(shè)備維護(hù)策略:
　　 1.針對連續(xù)狀態(tài)劣化模型的特征，采用MonteCarlo方法模擬設(shè)備的連續(xù)衰減過程，以周期檢測的方式討論系統(tǒng)控制界限規(guī)則的視情維護(hù)策略。
　　 2.在考慮設(shè)備經(jīng)濟(jì)相關(guān)性和系統(tǒng)配置的基礎(chǔ)上，根據(jù)設(shè)備劣化水平、故障類型等因素提出事后維修與視情機(jī)會維修相結(jié)合

3、的多設(shè)備系統(tǒng)維護(hù)決策。
　　 3.針對半導(dǎo)體制造系統(tǒng)設(shè)備故障率、成品率等性能指標(biāo)，提出一個針對半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的兩層維護(hù)優(yōu)化結(jié)構(gòu)，其中設(shè)備層利用Markov決策過程理論制定針對單設(shè)備多產(chǎn)品系統(tǒng)的序貫檢測策略;系統(tǒng)層根據(jù)設(shè)備層的各種信息和有限的可用維護(hù)資源制訂短期維修調(diào)度計劃。
　　 復(fù)雜制造系統(tǒng)設(shè)備維護(hù)調(diào)度所涉及的模型和分析方法非常復(fù)雜，所要考慮的制造過程生產(chǎn)計劃、生產(chǎn)線WIP等因素較多，還存在許多尚未解決的問題。本文是針