鈮酸鋰相位調(diào)制器關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf

1、鈮酸鋰相位調(diào)制器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于光纖通信、光纖傳感等眾多領(lǐng)域，而在器件的生產(chǎn)過(guò)程中，波導(dǎo)制作、V型槽制作、器件耦合封裝及可靠性等幾項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)對(duì)器件整體性能的提高至關(guān)重要。
　　本文首先簡(jiǎn)單介紹了電光調(diào)制器的原理，闡述了鈮酸鋰相位調(diào)制器中波導(dǎo)制作、V型槽制作、器件封裝耦合及可靠性等幾項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的研究意義，綜述了其研究、發(fā)展現(xiàn)狀。
　　在分析了鈮酸鋰晶體的相關(guān)特性、電光相位調(diào)制的基本原理以及單模光纖和光波導(dǎo)的對(duì)接耦合以后，研究了單

2、模鈮酸鋰條形波導(dǎo)和鈮酸鋰V型槽的制作工藝，提出了使用鈮酸鋰V型槽實(shí)現(xiàn)單模光纖與波導(dǎo)耦合的方案。
　　實(shí)驗(yàn)方面，利用實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有條件，在鈮酸鋰晶片上以苯甲酸為質(zhì)子源，用液相質(zhì)子交換法制作了條形波導(dǎo)；對(duì)用質(zhì)子交換法實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰晶體疇反轉(zhuǎn)進(jìn)行了一系列實(shí)驗(yàn)研究，在此基礎(chǔ)上提出了質(zhì)子交換法實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰晶體疇反轉(zhuǎn)的工藝過(guò)程，實(shí)現(xiàn)了疇反轉(zhuǎn)并腐蝕得到了V型槽；設(shè)計(jì)制作了帶尾纖的電光相位調(diào)制器，最后進(jìn)行封裝。對(duì)實(shí)驗(yàn)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題進(jìn)行了分析提出了解決的方