基于LTCC技術(shù)的金絲鍵合及通孔互連微波特性研究.pdf

1、本文開展了金絲線鍵合互連和多層電路中垂直通孔互連過渡的微波特性研究。在分析微波傳輸線基礎(chǔ)上，通過應(yīng)用HFSS和ADS軟件，建立了金絲線鍵合互連模型，仿真分析了金絲線數(shù)量、直徑、拱高、跨距等參數(shù)對金絲鍵合互連微波特性的影響?；谧杩蛊ヅ浼夹g(shù)，研究了毫米波段的金絲線鍵合互連匹配設(shè)計，應(yīng)用smith原圖對金絲線模型進行了多枝節(jié)匹配設(shè)計，在HFSS中進行了優(yōu)化，使金絲線在30GHz和60GHz時的回波損耗分別達到-60dB和-45dB，帶寬分別

2、為20％和10％，具有較好的微波傳輸特性。研究了微帶線-帶狀線-微帶線、共面波導-帶狀線-共面波導、微帶線-帶狀線、共面波導-帶狀線垂直過渡的微波特性，通過在LTCC多層介質(zhì)中合理的添加接地通孔并在HFSS中建模分析與優(yōu)化，使微帶線-帶狀線垂直通孔的回波損耗S11在1-40GHz的頻段內(nèi)都小于-10dB，有效的改善了垂直過渡的傳輸性能。利用smith原圖對優(yōu)化后的微帶線-帶狀線結(jié)構(gòu)進行了多枝節(jié)匹配設(shè)計，HFSS仿真結(jié)果表明，在中心頻率為