基于LTCC技術(shù)的金絲鍵合及通孔互連微波特性研究.pdf

1、本文開(kāi)展了金絲線(xiàn)鍵合互連和多層電路中垂直通孔互連過(guò)渡的微波特性研究。在分析微波傳輸線(xiàn)基礎(chǔ)上，通過(guò)應(yīng)用HFSS和ADS軟件，建立了金絲線(xiàn)鍵合互連模型，仿真分析了金絲線(xiàn)數(shù)量、直徑、拱高、跨距等參數(shù)對(duì)金絲鍵合互連微波特性的影響?；谧杩蛊ヅ浼夹g(shù)，研究了毫米波段的金絲線(xiàn)鍵合互連匹配設(shè)計(jì)，應(yīng)用smith原圖對(duì)金絲線(xiàn)模型進(jìn)行了多枝節(jié)匹配設(shè)計(jì)，在HFSS中進(jìn)行了優(yōu)化，使金絲線(xiàn)在30GHz和60GHz時(shí)的回波損耗分別達(dá)到-60dB和-45dB，帶寬分別

2、為20％和10％，具有較好的微波傳輸特性。研究了微帶線(xiàn)-帶狀線(xiàn)-微帶線(xiàn)、共面波導(dǎo)-帶狀線(xiàn)-共面波導(dǎo)、微帶線(xiàn)-帶狀線(xiàn)、共面波導(dǎo)-帶狀線(xiàn)垂直過(guò)渡的微波特性，通過(guò)在LTCC多層介質(zhì)中合理的添加接地通孔并在HFSS中建模分析與優(yōu)化，使微帶線(xiàn)-帶狀線(xiàn)垂直通孔的回波損耗S11在1-40GHz的頻段內(nèi)都小于-10dB，有效的改善了垂直過(guò)渡的傳輸性能。利用smith原圖對(duì)優(yōu)化后的微帶線(xiàn)-帶狀線(xiàn)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了多枝節(jié)匹配設(shè)計(jì)，HFSS仿真結(jié)果表明，在中心頻率為