光學多通道表面檢測系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著半導體制造技術(shù)的迅猛發(fā)展，晶片與薄膜已被廣泛應用于各種微電子、光電子器件中，與此同時，晶片與薄膜材料的表面缺陷也逐漸成為限制器件性能的主要因素。為保證器件質(zhì)量、提高器件性能，實時、在線檢測晶片與薄膜表面缺陷已變得不可或缺。但是，由于晶片與薄膜表面缺陷的多種多樣，制造商不得不采用多種檢測設備對它們進行檢測，這不僅大大降低了生產(chǎn)效率、而且增加了檢測成本。因此，利用一種檢測設備實現(xiàn)多種缺陷檢測已經(jīng)成為制造商的迫切需求。
　　針對上述

2、需求，本文設計了一種光學多通道表面檢測系統(tǒng)（OpticalMulti-channelSurfaceDetectingSystem，簡稱OMSDS）。該系統(tǒng)結(jié)合了反射檢測技術(shù)、散射檢測技術(shù)、光學形貌檢測技術(shù)、相移檢測技術(shù)等多種光學檢測技術(shù)，實現(xiàn)了對晶片與薄膜材料表面缺陷的全面檢測。本文通過實驗驗證了OMSDS的可行性，同時對下一步研究工作提出了建議。
　　論文的主要研究內(nèi)容包括以下幾個方面：
　　(1)閱讀了大量的國內(nèi)外相關(guān)文

3、獻，歸納整理了表面檢測技術(shù)的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢。研究了幾種常用的光學檢測理論及其實現(xiàn)方法，在此基礎(chǔ)上，完成了OMSDS系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設計及入射、反射、散射基本光路設計，通過實驗驗證了入射和反射光路的可行性。
　　(2)完成了OMSDS中圖像采集子系統(tǒng)功能定義，通過研究該子系統(tǒng)功能要求及圖像傳感器特性，設計了圖像采集子系統(tǒng)的電路原理圖，制作了電路板，經(jīng)過實驗驗證了電路原理圖的正確性，解決了OMSDS圖像采集問題。
　　(3)進行了O