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1、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)碩士學(xué)位論文寬禁帶半導(dǎo)體SiC、ZnO紫外光電器件的研究姓名:王麗玉申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:謝家純20031101!竺塑蘭!!旦!墮蘭!蘭絲查叁蘭堡!:堡苧AbstractComparedwithSiandGaAswhicharetraditionalsemiconductormaterials,thethirdgenerationWideBandGapsemiconductormateri
2、als(SiC,ZnO,etc)havebetteroptical,electricalandthermalpropertiesTherefore,theybecomepreferredsemiconductormaterialsforpreparationofdevicesinhightemperature,highfrequencyhighvoltageandhighpowerconditionsThisthesisismainly
3、aboutourstudiesofSiC,ZnOUV(ultraviolet)photoelectricdevicesThisthesisisdividedintofivechaptersanditsmaincontentsincludefourchapterswhichareintroducedinbriefasthefollowingInChapterTwoandChapterFourasurveyofphysicalandchem
4、icalproperties,thepreparationofmaterialsandtheprogressofdevicesofbothSiCandZnOisgivenInChapterThree,theexpatiationofourstudiesaboutSiCUVphotoelectricdevicesandthemeasurementofAu/n4HSiCandNi/n一4H—SiCSchottkyUVphotodetecto
5、rswhichhavesuccessfullybeenfabricatedbyusisgivenTheresponsewavelengthrangeisfrom200hmto400hmForAu/n一4HsiC,atroomtemperaturewithoutanybiasedvoltage,theresponsepeakhasbeenfoundat310nmandthehalfwidthofresponsewavelengthis73
6、nm;atroomtemperaturewith7Vbiasedvoltage,themaximalspectrumresponsivityis8672mA/Wandthemaximalquantumefficiencyis3715%ForNi/n一4H—SiC,thecorrespondingparametersare300rim,83nm,4584mA/Wand1898%Thereversebreakdownvoltagesareb
7、othhigherthan200Vandtheleakagecurrentsarebothsmallerthan10~0ATheexperimentalresultsshowthatSiCSchottkyUVphotodetectorshavegoodUVresponsecharacteristicsandlowleakagecurrentsInaddition,wehavealsotakenapilotstudyonSiCMOSstr
8、uctureInChapterFive,theexpatiationofourstudiesaboutZnOUVphotoelectricdevicesandthemeasurementofn—ZnO/p—Siheterojunctiondeviceswhichhavesuccessfullybeenfabricatedbyusisgi、venTheultravioletresponsefrom200rimto400nmhasevide
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