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文檔簡介
1、半導體制造企業(yè)中設備的運行狀態(tài)對企業(yè)的生產能力影響重大,而半導體生產設備造價極其昂貴,提高設備維修效率、降低設備故障停機時間是提高企業(yè)生產能力、控制生產成本的一種重要途徑。因此,為設備提供方便實用、性能可靠的故障診斷已經成為半導體企業(yè)的迫切需要,而設備的結構越來越復雜也給故障診斷帶來了極大的挑戰(zhàn)。
與人工智能相結合,向智能化方向發(fā)展是故障診斷技術的發(fā)展趨勢。其中,基于專家系統(tǒng)的診斷技術能在特定領域模仿人類專家的思維來求解復雜問
2、題,是人工智能領域應用最廣泛的分支之一。然而,目前開發(fā)的專家系統(tǒng)大都依賴傳感器采得的數據或設備的具體結構,因此只能用于該設備或結構類似的設備的故障診斷,通用性不強。針對于此,本文致力于充分利用診斷領域的專家知識,開發(fā)可以在工廠內通用的故障診斷專家系統(tǒng)。
本文首先對故障診斷及專家系統(tǒng)技術進行了簡要的介紹,隨后闡述了在某半導體封裝測試工廠中開發(fā)故障診斷專家系統(tǒng)的必要性和可行性。在此基礎上,本文設計了一個故障診斷專家系統(tǒng),其中,由于
3、專家知識的故障現象與故障原因之間在邏輯上存在因果關系,采用產生式規(guī)則表示法表示半導體設備故障診斷領域的專家知識;另外,還因為知識的證據、規(guī)則和結論都具有概率型不確定性的特點,文中選用貝葉斯網絡方法進行知識的推理。在將貝葉斯網絡應用于本專家系統(tǒng)的過程中,為了方便領域專家的判斷,采用改進的因果關系調查表幫助建立貝葉斯網絡拓撲;為了讓專家更準確和快速地定義概率,采用概率刻度表將人們常用的對概率的口頭表達和實際的數值概率對應起來定義推理過程所需
4、要的先驗概率和條件概率值。最后,本文分析了系統(tǒng)的需求,并給出了半導體設備故障診斷專家系統(tǒng)的實現。該系統(tǒng)包括知識模塊、推理模塊和輔助模塊三大模塊,其中知識模塊和推理模塊是系統(tǒng)的核心模塊。
該系統(tǒng)已經在Windows平臺上用Microsoft Visual Studio2008集成開發(fā)環(huán)境和Microsoft SQL Server2000數據庫實現,并通過實例運行驗證了系統(tǒng)的快速性和準確性。該系統(tǒng)已經成功應用于該半導體公司的實際故
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