LD反饋干涉理論及其在表面輪廓測量中的應(yīng)用研究.pdf

1、本文首先對一般激光反饋干涉理論進行了理論分析和仿真計算，在搭建的LD反饋干涉實驗系統(tǒng)上進行了強/弱反饋干涉實驗，得出相應(yīng)的干涉圖形和光電輸出信號。同時，作為論文的創(chuàng)新點之一，對多外腔反饋干涉系統(tǒng)提出了自己的理論模型，并在后面的實驗中利用這一結(jié)果，得到了間接的驗證。 然后，在分析了近年來出現(xiàn)的激光二極管反饋干涉條紋鎖定現(xiàn)象的基礎(chǔ)上，對激光二極管光反饋干涉儀的工作機理做了較為深入的理論分析和實驗研究，提出了激光反饋干涉系統(tǒng)四鏡F-P

2、等效腔的理論模型。進行了理論分析和數(shù)學(xué)推導(dǎo)，得到了激光二極管反饋干涉系統(tǒng)的激發(fā)條件和條紋鎖定機理，形成了另一個創(chuàng)新點。通過仿真計算、得出激光波長變化和光程差變化的關(guān)系，在泰曼—格林干涉儀進行了實驗，觀察了激光二極管光反饋的條紋鎖定現(xiàn)象，對提出的理論進行了驗證分析。 最后，簡要介紹了表面輪廓測量參數(shù)和光學(xué)檢測方法，重點介紹了激光干涉測量方法在激光反饋干涉實驗系統(tǒng)中進行了精細表面物體的表面輪廓測量實驗以及抗干擾基本實驗，這也是論文另